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工程案例(3)
时间:2008年12月1日
封装测试行业及相关行业超纯水
TOC<50ppb
颗粒度(PARTICLE)达到0.2um<3-5PCS/ML
二氧化硅SiO2<10ppb
电阻率≥16MΩ.cm(25℃)